Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige hochpräzise absolute Vakuum-/Druckmessumformer und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf der patentierten kapazitiven Membran-Sensortechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmesswerte, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet kompatibel mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bieten sie eine extrem stabile geschlossene Regelung des Drucks für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gaseinleitungssysteme und gewährleisten eine konsistente Vakuumgenauigkeit in der Prozesskammer sowie eine verbesserte Ausbeute in der Halbleiterproduktion.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenpräzision bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift zur Erfüllung strenger HalbleiterprozessanforderungenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L Edelstahl mit vollständig geschweißter Struktur und sind beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Dichtheit geprüft für einen sicheren Betrieb in rauen Plasmaprozessen.
- Deckt Ultrahochvakuum bis Hochdruck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45℃ / 100℃ optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien, um Messabweichungen zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fertigungsanlagen: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasschränke, Vakuumpumpsysteme, Leckdetektion und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-Photovoltaik, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumprüfungen im Labor
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, Originalprodukte. 1 Jahr Garantie enthalten.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitangaben.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.