Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige, hochpräzise absolute Vakuum-/Drucktransducer, der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterindustrie. Basierend auf patentierter kapazitiver Membran-Sensortechnologie liefert es gasartunabhängige Druckmesswerte, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet in Kombination mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bietet es eine extrem stabile geschlossene Druckregelung für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gaseinleitungssysteme und gewährleistet eine konsistente Vakuumpräzision in der Kammer sowie eine verbesserte Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenklasse-Genauigkeit bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, ausgezeichnete Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen in Halbleiterprozessen zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L Edelstahl in vollständig geschweißter Konstruktion, beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung 100 % auf Leckagen geprüft für sicheren Betrieb in rauen Plasmaumgebungen.
- Deckt ultrafeines Vakuum bis hohen Druck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45 ℃ / 100 ℃ optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien, um Messabweichungen zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fertigungsanlagen: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasverteilschrank, Vakuumpumpsystem, Leckdetektion und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-Photovoltaik, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumtests im Labor
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuwertige Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßfest.