Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige, hochpräzise absolute Vakuum-/Druckwandler und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf der patentierten kapazitiven Membransensortechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmessungen, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet in AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bieten sie eine äußerst stabile geschlossene Regelung des Drucks für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gasversorgungssysteme und gewährleisten eine konsistente Vakuumpräzision in der Prozesskammer sowie eine verbesserte Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenpräzision bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen der Halbleiterprozesse zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L-Edelstahl in vollständig geschweißter Ausführung und sind beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen getestet für einen sicheren Betrieb in rauen Plasmaumgebungen.
- Deckt Ultrahochvakuum bis Hochdruck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45℃ / 100℃ optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien und vermeiden so Messabweichungen.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fab-Ausrüstung: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasverteiler, Vakuumpumpensystem, Leckdetektion und Druck-Sicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumtests im Labor
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware (Originalprodukte). 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Welche Zahlungsbedingungen bieten Sie an?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.