Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige hochpräzise absolute Vakuum-/Drucktransducer, der Industriestandard für Halbleiter-Vakuumprozessanlagen. Basierend auf der patentierten kapazitiven Membransensortechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmesswerte, vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung. Weit verbreitet kompatibel mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bieten sie eine extrem stabile geschlossene Regelung des Drucks für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gaseinlasssysteme und gewährleisten eine konsistente Kammer-Vakuumpräzision sowie eine verbesserte Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Erstklassige Genauigkeit bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen in Halbleiterprozessen zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L-Edelstahl mit vollständig geschweißter Struktur, beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Lieferung zu 100 % auf Leckagen getestet für einen sicheren Betrieb in rauen Plasma-Umgebungen.
- Deckt Ultrahochvakuum bis Hochdruck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45℃ / 100℃ optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien, um Messabweichungen zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fertigungsanlagen: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasschrank, Vakuumpumpsystem, Leckdetektion und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumprüfung im Labor
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A:Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inbegriffen.
F2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A:T/T, Paypal unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A:Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A:DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A:Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßbeständig.