Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige, hochpräzise absolute Vakuum-/Drucktransducer und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf patentierter kapazitiver Membran-Sensortechnologie liefern sie gasartenunabhängige Druckmessungen, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet kompatibel mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen, bieten sie eine äußerst stabile geschlossene Regelung des Drucks für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gaszufuhrsysteme und gewährleisten eine konsistente Vakuumgenauigkeit in der Prozesskammer sowie eine verbesserte Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenpräzision bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, ausgezeichnete Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen der Halbleiterprozesse zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L Edelstahl mit vollständig geschweißter Struktur, beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen geprüft für einen sicheren Betrieb in anspruchsvollen Plasmaumgebungen.
- Deckt Ultrahochvakuum bis Hochdruck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45 °C / 100 °C optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien, um Messabweichungen zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fertigungsanlagen: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumsteuerung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasflaschenschrank, Vakuumpumpsystem, Lecksuche und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-Photovoltaik, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumprüfungen im Labor
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.