Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige, hochpräzise absolute Vakuum-/Druckaufnehmer und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf der patentierten kapazitiven Membranmesstechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmesswerte, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet kompatibel mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen, bieten sie eine äußerst stabile geschlossene Regelung des Drucks für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gaseinlasssysteme und gewährleisten eine konsistente Vakuumpräzision in der Prozesskammer sowie eine verbesserte Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenmessgenauigkeit bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % des Vollbereichs (Full Scale), hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um die strengen Anforderungen von Halbleiterprozessen zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L Edelstahl in vollständig geschweißter Ausführung, beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen geprüft für einen sicheren Betrieb in rauen Plasma-Umgebungen.
- Deckt den Bereich von Ultrahochvakuum bis Hochdruck ab: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45℃ / 100℃ optional) verhindern wirksam die Kondensation flüchtiger Prozessmedien, um Messabweichungen zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fertigungsanlagen: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasschrank, Vakuumpumpensystem, Lecksuche und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumtests im Labor
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitangaben.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.