Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige, hochpräzise absolute Vakuum-/Drucktransducer und der Industriestandard für Halbleiter-Vakuumprozessanlagen. Basierend auf der patentierten kapazitiven Membransensortechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmessungen, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet in AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bieten sie eine äußerst stabile geschlossene Druckregelung für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gaszufuhrsysteme, gewährleisten eine konsistente Kammer-Vakuumpräzision und verbessern die Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Erstklassige Genauigkeit bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um die strengen Anforderungen der Halbleiterprozesse zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L Edelstahl mit vollständig geschweißter Struktur, beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen geprüft für einen sicheren Betrieb in rauen Plasmaprozessumgebungen.
- Deckt Ultrahochvakuum bis Hochdruck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45℃ / 100℃ optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien und vermeiden so Messabweichungen.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fab-Ausrüstung: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasversorgungsschränke, Vakuumpumpsysteme, Leckdetektion und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumprüfungen im Labor
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, originale Markenprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgehende Überwachung des gesamten Prozesses durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.