Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige hochpräzise Absolutvakuum-/Druckmessumformer und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf der patentierten kapazitiven Membran-Sensortechnologie liefern sie gasartenunabhängige Druckmessungen, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet in Kombination mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen ermöglichen sie eine extrem stabile geschlossene Druckregelung für Ätz-, CVD-, PVD-, ALD- und Gaszufuhrsysteme und gewährleisten eine konsistente Kammer-Vakuumpräzision sowie eine höhere Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenpräzision bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % des Vollbereichs, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen der Halbleiterprozesse zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierungen oder 316L-Edelstahl in vollständig geschweißter Ausführung, beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen geprüft für sicheren Betrieb in rauen Plasmasumgebungen.
- Deckt ultrafeines Vakuum bis hohen Druck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (optional 45℃ / 100℃) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien und vermeiden Messabweichungen.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fab-Ausrüstung: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasschrank, Vakuumpumpsystem, Leckdetektion und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumprüfungen im Labor
FAQ:
Q1:Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A:Neuware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2:Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A:T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Was ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A:Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – bitte wenden Sie sich für Zeitpläne an den Kundenservice.
Q4:Versand & Sendungsverfolgung
A:DHL/FedEx/UPS verfügbar.Tracking-Nummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5:Verpackung & Sicherheit
A:Originalverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.