Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige hochpräzise absolute Vakuum-/Drucktransducer und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf der patentierten Kapazitätsmembran-Sensortechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmessungen, die vollständig unbeeinflusst von der Zusammensetzung des Prozessgases sind. Weit verbreitet in Kombination mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bieten sie eine extrem stabile geschlossene Druckregelung für Ätzen, CVD, PVD, ALD und Gasversorgungssysteme, gewährleisten eine konstante Vakuumpräzision in der Prozesskammer und verbessern die Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenpräzision bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen von Halbleiterprozessen zu erfüllenMKS.
- Membran und medienbenetzte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierungen oder 316L-Edelstahl in vollständig geschweißter Bauweise und sind beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen getestet für sicheren Betrieb in anspruchsvollen Plasmaumgebungen.
- Deckt Ultrahochvakuum bis hohen Druck ab: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (45℃ / 100℃ optional) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien, um Messabweichungen zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fab-Ausrüstung: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumsteuerung für Dünnschichtabscheidung, Plasmätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasschränke, Vakuumpumpsysteme, Lecksuche und Drucksicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumtests im Labor
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.