Beschreibung:
MKS Baratron Kapazitätsmanometer sind hochwertige, hochpräzise absolute Vakuum-/Drucktransducer und der Industriestandard für Vakuumprozessanlagen in der Halbleiterfertigung. Basierend auf der patentierten Kapazitätsmembran-Sensortechnologie liefern sie gasartunabhängige Druckmessungen, die vollständig unbeeinflusst von der Prozessgaszusammensetzung sind. Weit verbreitet in Kombination mit AMAT, LAM Research und gängigen Wafer-Fertigungsplattformen bieten sie eine extrem stabile Closed-Loop-Druckregelung für Ätz-, CVD-, PVD-, ALD- und Gaszufuhrsysteme und gewährleisten eine konsistente Kammer-Vakuumpräzision sowie eine verbesserte Produktionsausbeute in der Halbleiterfertigung.
Wichtige Spezifikationen:
- Spitzenklasse-Genauigkeit bis zu ±0,25 % des Messwerts, ultrafeine Auflösung von 0,01 % Full Scale, hervorragende Langzeitstabilität und minimale Drift, um strenge Anforderungen in der Halbleiterfertigung zu erfüllenMKS.
- Membran und medienberührte Teile bestehen aus Inconel® / Incoloy® Nickellegierung oder 316L Edelstahl in vollständig geschweißter Ausführung und sind beständig gegen korrosive Spezialprozessgase. Vor der Auslieferung zu 100 % auf Leckagen geprüft für einen sicheren Betrieb in rauen Plasma-Umgebungen.
- Abdeckung von ultrafeinem Vakuum bis hin zu hohem Druck: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Beheizte Modelle (optional 45℃ / 100℃) verhindern effektiv die Kondensation flüchtiger Prozessmedien und vermeiden Messabweichungen.
Anwendungen:
- Halbleiter-Fab-Ausrüstung: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 Ätzsysteme
- Präzise Vakuumregelung für Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen und Ionenimplantation
- MFC-Gasschrank, Vakuumpumpsystem, Lecksuche und Druck-Sicherheitsverriegelung
- Solar-PV, LED-Beschichtung, pharmazeutische Vakuumverarbeitung und hochpräzise Vakuumtests im Labor
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.