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Brandneu Lam Research 685-801852-017 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research 685-801852-017 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research 685-801852-017 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle weltweite Lieferung

  • Artikel-Nr.:

    685-801852-017

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research Faseroptik-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. In Kombination mit professionellen optischen Modulen nutzen sie ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemission sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig für die Ätz-Endpunkt-Erkennung, Dünnschicht-Metrologie und die Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands eingesetzt. Diese Einheiten gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für LAM Full-Series-Prozesswerkzeuge.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochempfindlichen CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Glasfaseranschlüsse unterstützen die Signalübertragung über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts sowie die Messung von Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Bauweise mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Austausch vor Ort.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschicht-Abscheideanlagen
  2. Ätz-Endpunkt-Erkennung für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung von Dünnschichtdicke und Reflexion
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.

F2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.

F3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitangaben.

F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.

F5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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