Beschreibung:
Lam Research Elektroden und Isolatorteile sind kritische Verbrauchsmaterialien und strukturelle Komponenten für Halbleiter-Ätz-, Abscheidungs- und Plasmaverarbeitungsanlagen. Die Elektroden erzeugen und stabilisieren ein stabiles Plasma für die Waferfertigung, während Hochleistungs-Isolatoren Schaltkreise und Komponenten isolieren, um elektrische Leckströme, Lichtbögen und Kurzschlüsse zu verhindern. Aus speziellen Halbleiter-Qualitätsmaterialien gefertigt, zeichnen sich diese Teile durch hervorragende elektrische Widerstandsfähigkeit, thermische Stabilität und Plasmaerosionsbeständigkeit aus. Sie arbeiten zuverlässig unter Hochvakuum, hohen Temperaturen und starker HF-Umgebung und gewährleisten einen langfristig stabilen Betrieb der Prozesskammern sowie eine gleichbleibende Produktionsausbeute. Alle Artikel sind originale OEM-Teile mit perfekter Kompatibilität für Lam Research Wafer-Verarbeitungswerkzeuge.
Wichtige Spezifikationen:
- Verwendet hochreine leitfähige Materialien für Elektroden und hochwertige Keramik/Quarz für Isolatoren und bietet außergewöhnliche Beständigkeit gegen Plasmakorrosion.
- Elektroden sorgen für eine gleichmäßige Plasmaverteilung; Isolatoren bieten eine hervorragende Isolationsfestigkeit, um Entladungsfehler und Geräteschäden zu vermeiden.
- Sie widerstehen hohen Temperaturen, thermischem Schock und mechanischer Belastung und behalten während des 24/7-Dauerbetriebs präzise Abmessungen und Leistung bei.
- Mit engen Toleranzen gefertigt, passen sie perfekt zur Originalgeräte-Struktur für eine nahtlose Installation und stabile Prozessergebnisse.
- Voll kompatibel mit Lam-Ätzanlagen, CVD-, PVD- und entsprechenden Vakuumsystemen. Leicht austauschbar, um Produktionsausfallzeiten zu minimieren.
Typische Anwendungen:
- Lam Research Plasma-Ätzsysteme
- CVD-, PVD- und ALD-Dünnschicht-Abscheidungsanlagen
- 200-mm / 300-mm Wafer-Prozesskammern
- Wartung von Halbleiter-Produktionslinien und Ersatzteilersatz
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware in Originalqualität. 1 Jahr Garantie enthalten.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.