Beschreibung:
Lam Research Elektroden- und Isolatorteile sind kritische Verbrauchsmaterialien und strukturelle Komponenten für Halbleiter-Ätz-, Abscheidungs- und Plasmaprozessanlagen. Die Elektroden erzeugen und erhalten ein stabiles Plasma für die Wafer-Fertigung, während Hochleistungs-Isolatoren Schaltkreise und Komponenten isolieren, um elektrische Leckströme, Lichtbögen und Kurzschlüsse zu verhindern. Hergestellt aus spezialisierten Halbleiter-Materialien zeichnen sich diese Teile durch hervorragende elektrische Widerstandsfähigkeit, thermische Stabilität und Beständigkeit gegen Plasmaerosion aus. Sie arbeiten zuverlässig unter Hochvakuum, hohen Temperaturen und starken HF-Umgebungen und gewährleisten einen langfristig stabilen Betrieb der Prozesskammern sowie eine gleichbleibende Produktionsausbeute. Alle Artikel sind echte OEM-Teile mit perfekter Kompatibilität für Lam Research Wafer-Verarbeitungswerkzeuge.
Wichtige Spezifikationen:
- Verwendet hochreine leitfähige Materialien für Elektroden und hochwertige Keramik/Quarz für Isolatoren und bietet herausragende Beständigkeit gegen Plasmakorrosion.
- Elektroden gewährleisten eine gleichmäßige Plasmaverteilung; Isolatoren bieten eine hervorragende Isolationsfestigkeit, um Entladungsfehler und Geräteschäden zu vermeiden.
- Widerstehen hohen Temperaturen, Thermoschocks und mechanischen Belastungen und behalten präzise Abmessungen und Leistung während des 24/7-Dauerbetriebs bei.
- Mit engen Toleranzen gefertigt, passend zur Originalausrüstungsstruktur für nahtlose Installation und stabile Prozessergebnisse.
- Voll kompatibel mit Lam-Ätzern, CVD-, PVD- und zugehörigen Vakuumsystemen. Leicht austauschbar, um Produktionsausfallzeiten zu minimieren.
Typische Anwendungen:
- Lam Research Plasma-Ätzsysteme
- CVD-, PVD- und ALD-Dünnschicht-Abscheidungsanlagen
- 200-mm-/300-mm-Wafer-Prozesskammern
- Wartung von Halbleiter-Produktionslinien und Ersatzteilersatz
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalartikel. 1 Jahr Garantie inbegriffen.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.