Beschreibung:
Die Lam Research Temperatursteuerungsplatine ist eine zentrale thermische Managementkomponente für Halbleiter-Ätz-, Abscheidungs- und Waferverarbeitungssysteme. Sie bietet hochpräzise, mehrkanalige Temperaturregelung, um strikte thermische Gleichmäßigkeit über Prozesskammern, elektrostatische Spannfutter (ESCs) und Waferstufen hinweg aufrechtzuerhalten. Entwickelt für 24/7-Betrieb in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen, gewährleistet sie eine konstante Wafer-Temperatur, stabilisiert Prozessrezepte und maximiert die Produktionsausbeute. Original Lam OEM-Platinen garantieren Plug-and-Play-Kompatibilität, präzise Kalibrierung und langfristige Zuverlässigkeit für Halbleiterfabriken im Advanced-Node-Bereich (2nm/3nm).
Wichtige Spezifikationen:
- Originale Lam Research Leiterplattenbaugruppe, vollständig kompatibel mit Kiyo-Ätzern, ExAL-Plattformen und CVD/PVD-Systemen. Werkskalibriert und getestet für nahtlose Integration.
- Unterstützt 16–24 Kanäle (Pt100-RTD/Thermoelement-Eingänge); erreicht ±0,1 °C Stabilität im Bereich von 25–150 °C durch selbstoptimierende PID-Algorithmen.
- Geschlossene Regelkreise für Heizen/Kühlen (TEC-kompatibel); Echtzeit-Sensorfeedback mit 500 Hz Abtastung; Kompensation von Umgebungsdrift und Sensorverzögerung.
- Für Vakuum ausgelegt (≤1×10⁻⁶ Torr), EMV-geschirmt, vibrationsbeständig; arbeitet zuverlässig bei 0–55 °C mit Immunität gegenüber Plasma- und HF-Interferenzen.
- Modulares, hot-swap-fähiges Design für schnellen Austausch; Onboard-Diagnose für Temperatur, Sensorzustand und Fehlerprotokollierung; reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
Typische Anwendungen:
- Lam Research Plasma-Ätzsysteme (Kiyo, ExAL, 9000-Serie)
- CVD/PVD/ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
- 200 mm / 300 mm Wafer-Prozesskammern & ESCs
- Fortschrittliche Logik-/Speicher-Fabs (2nm/3nm-Knoten)
- Halbleiter-Fab-Wartung, Ersatzteile & Upgrades
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuwertige Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.