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Neu Lam Research 810-272395-001 ESC elektrostatischer Chuck

Neu Lam Research 810-272395-001 ESC elektrostatischer Chuck

Neu Lam Research 810-272395-001 ESC elektrostatischer Chuck

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle weltweite Lieferung

  • Artikel-Nr.:

    810-272395-001
  • Bestellung (MOQ):

    1
  • Zahlung:

    100% T/T
  • Produktherkunft:

    USA
  • Farbe:

    As Model
  • Verschiffungshafen:

    Xiamen
  • Vorlaufzeit:

    2-3 days
  • Produktdetails

Beschreibung:

Der Lam Research Electrostatic Chuck (ESC) ist eine Schlüsselkomponente für Halbleiter-Vakuumprozessanlagen. Er nutzt elektrostatische Kräfte, um Wafer in Prozesskammern sicher zu fixieren und eine stabile Positionierung während Ätz-, Abscheidungs- und anderer Fertigungsschritte zu gewährleisten. Aus hochwertigen Materialien und mit präziser Struktur gefertigt, bietet er eine gleichmäßige Spannkraft, ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und herausragende Haltbarkeit. Er arbeitet zuverlässig unter Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasma-Umgebungen und trägt dazu bei, eine konstante Prozessleistung und hohe Produktionsausbeute aufrechtzuerhalten. Das originale OEM-Bauteil gewährleistet perfekte Kompatibilität mit Lam Research Wafer-Processing-Tools.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Bietet eine gleichmäßige und stabile elektrostatische Haltekraft, um Wafer fest zu fixieren und Verschiebungen während des Betriebs zu vermeiden.
  2. Ein optimiertes Wärmeleitdesign ermöglicht eine effektive Temperaturkontrolle der Wafer für gleichmäßige Prozessergebnisse.
  3. Anpassbar an Hochvakuum, einen breiten Temperaturbereich und Plasmaatmosphäre, geeignet für den langfristigen 24/7-Dauerbetrieb.
  4. Strenge Fertigungstoleranzen gewährleisten eine hervorragende Oberflächenebenheit und erfüllen die Anforderungen fortschrittlicher Halbleiterprozesse.
  5. Voll kompatibel mit Lam Research Ätz- und Abscheidesystemen, einfach zu installieren und auszutauschen, um Ausfallzeiten zu reduzieren.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Lam Research Plasmaätzsysteme
  2. CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  3. 200 mm / 300 mm Wafer-Vakuumprozesskammern
  4. Halbleiterfertigungslinien und Anlagenwartung

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal wird unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle sind auf Lager und werden innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung versendet. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

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