Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS Rechtswinkel-Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasstrom- und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartige 90°-Rechtswinkel-Anordnung spart Einbauraum im Schaltschrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine ultrastabile lineare Druckregelung. Ventilgehäuse aus Edelstahl mit ausgasungsarmer Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig überholte geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign, reduziert die horizontale Rohrleitungsbelegung erheblich und ermöglicht eine einfache Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen und stabil wiederholbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verdickte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in korrosiven Gasumgebungen bei Ätz- und Abscheideprozessen.
- Ventilgehäuse vollständig aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt die Anforderungen von Hochvakuum-Reinraumstandards; Heizversion bis zu 200℃ unterstützt, um Kondensation von Prozessgas zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; Unterstützung für 0–10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, mit Schaltplänen, Bedienungsanleitungen und technischer Fernunterstützung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal unterstützt.
Q3: Was ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung—kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q5: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.