Beschreibung:
Originale in den USA hergestellte MKS rechtwinklige Vakuum-Drosselklappenventile (Butterfly Valve), entwickelt für präzise Abgasströmungs- und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartige 90°-Rechtwinkelausführung spart Einbauraum im Schrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine ultrastabile lineare Druckregelung. Ventilkörper aus Edelstahl mit ausgasungsarmer Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig überholte, getestete Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign reduziert deutlich die horizontale Rohrleitungsbelegung und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimale Drucküberschwinger, stabile und wiederholbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verdickte Klappe verhindert Staubansammlungen, lange Lebensdauer in ätzenden Gasumgebungen bei Ätz- und Beschichtungsprozessen.
- Vollständig aus Edelstahl gefertigter Ventilkörper, ausgasungsarme Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt die Standards für Hochvakuum-Reinräume; Heizversion bis zu 200℃ zur Vermeidung von Kondensation von Prozessgasen unterstützt.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; unterstützt 0-10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und technische Fernunterstützung verfügbar.
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Welche Zahlungsbedingungen gelten?
A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Was ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.