Beschreibung:
MKS RF Matchers (auch als RF-Anpassungsboxen/-Netzwerke bezeichnet) sind hochleistungsfähige automatische Impedanzanpassungsgeräte, die für Halbleiter- und industrielle Plasmasysteme entwickelt wurden. Sie gleichen dynamisch die 50Ω-Ausgangsimpedanz von RF-Generatoren mit der variablen Impedanz von Plasmakammern, Ätzanlagen, PECVD- und Sputteranlagen ab und minimieren die reflektierte Leistung sowie maximieren die Leistungsübertragungseffizienz. Mit schneller Abstimmung, robuster Abschirmung und kompakten Rack-mount-Designs gewährleisten sie eine stabile Plasmazündung, gleichbleibende Prozessleistung und 24/7-Produktionszuverlässigkeit. Erhältlich in neuen, generalüberholten und vollständig getesteten gebrauchten Zuständen.
Wichtige Spezifikationen:
- Automatische Impedanzanpassung: Echtzeit-Abstimmung zur Anpassung der 50Ω-Generatorausgabe an die variable Plasmalastimpedanz; minimiert reflektierte Leistung (typischerweise
- Schnelle Abstimmungsgeschwindigkeit: Hochgeschwindigkeitsreaktion (
- Breite Frequenz- und Leistungsabdeckung: Unterstützt 13.56MHz (Standard), 27.12MHz, 40.68MHz; Leistungsbereiche von 300W bis 10kW
- Robuste Konstruktion: Schweres Metallgehäuse mit EMI/RFI-Abschirmung; luftgekühlt standardmäßig (wassergekühlte Option für Hochleistungsmodelle)
- Präzisionskomponenten: Hochwertige variable Kondensatoren, Induktivitäten und Schrittmotoren für lange Lebensdauer (über 1.000.000 Zyklen)
Anwendungen:
- Halbleiterfertigung: RIE/ICP-Ätzen, PECVD/LPCVD-Abscheidung, Plasma-ashing, Wafer-Reinigung, Load-Lock-Systeme
- Vakuumbeschichtung: Sputtern, Verdampfung, PVD/CVD-Dünnschichtabscheidung für Optik, Displays und Solarzellen
- Industrielle Plasmabehandlung: Oberflächenaktivierung, Reinigung, Ätzen und Beschichtung für Metalle, Kunststoffe und Keramiken
- Forschung & Entwicklung: Universitätslabore, Forschungsinstitute und Pilot-Produktionslinien, die stabile RF-Plasmazufuhr erfordern
FAQ:
Q1:Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A:Neuwertige Originalartikel. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2:Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A:T/T, PayPal wird unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A:Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitangaben.
Q4:Versand & Sendungsverfolgung
A:DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5:Verpackung & Sicherheit
A:Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.