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Brandneuer Lam Research 685-801852-005 Mass Flow Controller

Brandneuer Lam Research 685-801852-005 Mass Flow Controller

Brandneuer Lam Research 685-801852-005 Mass Flow Controller

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle weltweite Lieferung

  • Artikel-Nr.:

    685-801852-005

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research Faseroptik-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert und verwenden ein Faseroptik-Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Weit verbreitet für die Endpunktdetektion beim Ätzen, Dünnschicht-Metrologie und die Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands, gewährleisten diese Einheiten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren Ausschuss in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die gesamte LAM-Tool-Serie.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-sichtbaren Wellenlängenbereich ab, um unterschiedliche Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faseroptik-Schnittstellen unterstützen die Übertragung von Signalen über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Die Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Entscheidung des Ätz-Endpunkts sowie die Messung von Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und verhindert effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Eingebaute Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlosen Datenaustausch und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Struktur mit Anti-Vibrations- und Anti-Interferenz-Fähigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Vor-Ort-Austausch.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschicht-Abscheideanlagen
  2. Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexionseigenschaften
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Welche Zahlungsbedingungen bieten Sie an?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle sind auf Lager und werden innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung versendet. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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