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Brandneu Lam Research 685-801852-002 Massenflussregler

Brandneu Lam Research 685-801852-002 Massenflussregler

Brandneu Lam Research 685-801852-002 Massenflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    685-801852-002

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research Faseroptik-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen gekoppelt, sie nutzen ein Faseroptik-Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig für die Äquivalenzpunkt-Erkennung beim Ätzen, Dünnschicht-Metrologie und die Echtzeitüberwachung des Plasmazustands eingesetzt, diese Einheiten gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte bei Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuum-Fertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die gesamte LAM-Prozesswerkzeugserie.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochempfindlichen CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faserinterfaces unterstützen die Übertragung von Signalen über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmenumgebungen.
  3. Die Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätzendpunkts sowie die Messung der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Über- und Unterätzen.
  4. Eingebaute Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Bauweise mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Austausch vor Ort.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuum-Prozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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