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Brandneu Lam Research 685-801852-015 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research 685-801852-015 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research 685-801852-015 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle weltweite Lieferung

  • Artikel-Nr.:

    685-801852-015

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

Die faseroptischen Spektrometer von LAM Research sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Waferbearbeitung in der Halbleiterfertigung integriert sind. In Kombination mit professionellen optischen Modulen nutzen sie ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemission sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig zur Erkennung des Äquivalenzendes beim Ätzen, zur Dünnschichtmetrologie und zur Echtzeitüberwachung des Plasmazustands eingesetzt. Diese Geräte gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Ausbeute und reduzieren Ausschuss bei Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die gesamte LAM-Prozesswerkzeugserie.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Glasfaseranschlüsse unterstützen die Übertragung über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Die Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Bestimmung des Ätz-Endpunkts sowie Messungen von Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit den LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Bauweise mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Austausch vor Ort.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Endpunktdetektion für Waferätzprozesse
  3. Inline-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inbegriffen.

Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Durchgehende Überwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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