Beschreibung:
Die Elektroden- und Isolatorteile von Lam Research sind kritische Verbrauchsmaterialien und strukturelle Komponenten für Halbleiter-Ätz-, Abscheidungs- und Plasmaprozessanlagen. Die Elektroden erzeugen und stabilisieren ein stabiles Plasma für die Wafer-Fertigung, während Hochleistungs-Isolatoren Schaltkreise und Komponenten isolieren, um elektrische Leckströme, Lichtbögen und Kurzschlüsse zu verhindern. Aus speziellen Halbleiter-Qualitätsmaterialien gefertigt, zeichnen sich diese Teile durch hervorragende elektrische Widerstandsfähigkeit, thermische Stabilität und Plasmaserosionsbeständigkeit aus. Sie arbeiten zuverlässig unter Hochvakuum, hohen Temperaturen und starken HF-Umgebungen und gewährleisten einen langfristig stabilen Betrieb der Prozesskammern sowie eine gleichbleibende Produktionsausbeute. Alle Artikel sind originale OEM-Teile mit perfekter Kompatibilität für Lam Research Wafer-Verarbeitungstools.
Wichtige Spezifikationen:
- Verwendet hochreine leitfähige Materialien für Elektroden und hochwertige Keramik/Quarz für Isolatoren, was eine hervorragende Beständigkeit gegen Plasmakorrosion bietet.
- Elektroden sorgen für eine gleichmäßige Plasmaverteilung; Isolatoren bieten eine überlegene Isolationsfestigkeit, um Entladungsfehler und Geräteschäden zu vermeiden.
- Widerstehen hohen Temperaturen, Thermoschocks und mechanischer Belastung und behalten präzise Abmessungen und Leistung im 24/7-Dauerbetrieb bei.
- Mit engen Toleranzen gefertigt, passen sie perfekt zur Struktur der Originalausrüstung und ermöglichen eine nahtlose Installation sowie stabile Prozessergebnisse.
- Voll kompatibel mit Lam-Ätzanlagen, CVD-, PVD- und zugehörigen Vakuumsystemen. Einfach auszutauschen, um Produktionsausfallzeiten zu minimieren.
Typische Anwendungen:
- Lam Research Plasma-Ätzsysteme
- CVD-, PVD- und ALD-Dünnschicht-Abscheideanlagen
- 200 mm / 300 mm Wafer-Prozesskammern
- Wartung von Halbleiter-Produktionslinien und Ersatzteilersatz
Häufig gestellte Fragen:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, Originalprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßfest.