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Brandneu Lam Research 778-900046-301 Temperatursteuerungsplatine

Brandneu Lam Research 778-900046-301 Temperatursteuerungsplatine

Brandneu Lam Research 778-900046-301 Temperatursteuerungsplatine

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    778-900046-301

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

Die Lam Research Temperature Control Board ist eine zentrale thermische Managementkomponente für Ätz-, Abscheidungs- und Waferverarbeitungssysteme in der Halbleiterfertigung. Sie bietet hochpräzise, mehrkanalige Temperaturregelung, um eine strikte thermische Gleichmäßigkeit über Prozesskammern, elektrostatische Spannfutter (ESCs) und Waferstufen hinweg sicherzustellen. Entwickelt für den 24/7-Betrieb in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasma-Umgebungen gewährleistet sie eine konstante Wafer-Temperatur, stabilisiert Prozessrezepte und maximiert die Produktionsausbeute. Original Lam OEM-Platinen garantieren Plug-and-Play-Kompatibilität, präzise Kalibrierung und langfristige Zuverlässigkeit für Halbleiterfabriken der Advanced-Node-Technologie (2nm/3nm).
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Originale Lam Research PCB-Baugruppe, vollständig kompatibel mit Kiyo-Ätzern, ExAL-Plattformen und CVD/PVD-Systemen. Werkseitig kalibriert und getestet für nahtlose Integration.
  2. Unterstützt 16–24 Kanäle (Pt100 RTD/Thermoelement-Eingänge); erreicht ±0,1 °C Stabilität im Bereich von 25–150 °C durch selbstoptimierende PID-Algorithmen.
  3. Geschlossene Regelung für Heizen/Kühlen (TEC-kompatibel); Echtzeit-Sensor-Feedback mit 500-Hz-Abtastung; Kompensation von Umgebungsdrift und Sensorsignalverzögerung.
  4. Vakuumgeeignet (≤1×10⁻⁶ Torr), EMV-geschirmt, vibrationsresistent; arbeitet zuverlässig bei 0–55 °C mit Immunität gegen Plasma- und HF-Störungen.
  5. Modulares, hot-swappbares Design für schnellen Austausch; Onboard-Diagnose für Temperatur, Sensorzustand und Fehlerprotokollierung; reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Lam Research Plasma-Ätzsysteme (Kiyo, ExAL, 9000er-Serie)
  2. CVD/PVD/ALD-Dünnschicht-Abscheideanlagen
  3. 200-mm / 300-mm Wafer-Prozesskammern & ESCs
  4. Halbleiterfabriken für Advanced-Logic-/Speicherchips (2nm/3nm-Knoten)
  5. Wartung von Halbleiterfabriken, Ersatzteile & Upgrades

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal werden unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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