Beschreibung:
Die Lam Research Temperature Control Board ist ein zentrales thermisches Managementbauteil für Halbleiter-Ätz-, Abscheidungs- und Waferverarbeitungssysteme. Sie liefert hochpräzise, mehrkanalige Temperaturregelung, um eine strikte thermische Gleichmäßigkeit über Prozesskammern, elektrostatische Spannfutter (ESCs) und Wafer-Stage-Systeme hinweg sicherzustellen. Ausgelegt für den 24/7-Betrieb in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen, gewährleistet sie eine konstante Wafer-Temperatur, stabilisiert Prozessrezepte und maximiert die Produktionsausbeute. Original Lam OEM-Platinen garantieren Plug-and-Play-Kompatibilität, präzise Kalibrierung und langfristige Zuverlässigkeit für Halbleiterfabriken mit Advanced-Node (2nm/3nm).
Wichtige Spezifikationen:
- Originale Lam Research PCB-Baugruppe, vollständig kompatibel mit Kiyo-Ätzern, ExAL-Plattformen und CVD/PVD-Systemen. Werkseitig kalibriert und getestet für nahtlose Integration.
- Unterstützt 16–24 Kanäle (Pt100 RTD/Thermoelement-Eingänge); erreicht ±0,1 °C Stabilität im Bereich von 25–150 °C mittels selbstoptimierender PID-Algorithmen.
- Regelung im geschlossenen Regelkreis für Heizen/Kühlen (TEC-kompatibel); Echtzeit-Sensor-Feedback mit 500 Hz Abtastung; Kompensation von Umgebungsdrift und Sensorsignalverzögerung.
- Vakuumgeeignet (≤1×10⁻⁶ Torr), EMV-geschirmt, vibrationsresistent; arbeitet zuverlässig bei 0–55 °C mit Immunität gegen Plasma- und HF-Interferenzen.
- Modulares, hot-swappable Design für schnellen Austausch; Onboard-Diagnose für Temperatur, Sensorzustand und Fehlerprotokollierung; reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
Typische Anwendungen:
- Lam Research Plasma-Ätzsysteme (Kiyo, ExAL, 9000-Serie)
- CVD/PVD/ALD-Dünnschicht-Abscheidungsanlagen
- 200mm / 300mm Wafer-Prozesskammern & ESCs
- Advanced-Logic-/Memory-Fabs (2nm/3nm-Nodes)
- Halbleiter-Fab-Wartung, Ersatzteile & Upgrades
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A:Brandneue Originalartikel. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A:T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A:Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A:DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A:Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßfest.