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Brandneu Lam Research 778-900046-403 Temperatursteuerplatine

Brandneu Lam Research 778-900046-403 Temperatursteuerplatine

Brandneu Lam Research 778-900046-403 Temperatursteuerplatine

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    778-900046-403

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

Die Lam Research Temperature Control Board ist eine zentrale Komponente des thermischen Managements für Ätz-, Abscheidungs- und Waferverarbeitungssysteme in der Halbleiterindustrie. Sie bietet hochpräzise, mehrkanalige Temperaturregelung, um eine strikte thermische Gleichmäßigkeit über Prozesskammern, elektrostatische Spannvorrichtungen (ESCs) und Wafer-Stage-Systeme hinweg sicherzustellen. Entwickelt für den 24/7-Betrieb in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen gewährleistet sie eine konstante Wafer-Temperatur, stabilisiert Prozessrezepte und maximiert die Produktionsausbeute. Originale Lam OEM-Platinen garantieren Plug-and-Play-Kompatibilität, präzise Kalibrierung und langfristige Zuverlässigkeit für Halbleiterfabriken mit fortschrittlichen Technologieknoten (2nm/3nm).
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Originale Lam Research PCB-Baugruppe, vollständig kompatibel mit Kiyo-Ätzanlagen, ExAL-Plattformen sowie CVD/PVD-Systemen. Werkseitig kalibriert und getestet für nahtlose Integration.
  2. Unterstützt 16–24 Kanäle (Pt100-RTD/Thermoelement-Eingänge); erreicht ±0,1°C Stabilität im Bereich von 25–150°C mittels selbstoptimierender PID-Algorithmen.
  3. Geschlossene Regelung für Heizen/Kühlen (TEC-kompatibel); Echtzeit-Sensor-Feedback mit 500Hz-Abtastung; Kompensation von Umgebungsschwankungen und Sensorsignalverzögerung.
  4. Vakuumtauglich (≤1×10⁻⁶ Torr), EMV-geschirmt, vibrationsresistent; arbeitet zuverlässig bei 0–55°C mit Immunität gegenüber Plasma- und HF-Interferenzen.
  5. Modulares, im laufenden Betrieb austauschbares Design für schnellen Ersatz; integrierte Diagnostik für Temperatur, Sensorszustand und Fehlerprotokollierung; reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Lam Research Plasma-Ätzsysteme (Kiyo, ExAL, 9000-Serie)
  2. CVD/PVD/ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  3. 200mm / 300mm Wafer-Prozesskammern & ESCs
  4. Fortschrittliche Logik-/Speicher-Fabs (2nm/3nm-Knoten)
  5. Halbleiter-Fab-Wartung, Ersatzteile & Upgrades

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, Originalprodukte. 1 Jahr Garantie enthalten.

Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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