Beschreibung:
Lam Research Temperatursteuerungsplatine ist eine zentrale Komponente des thermischen Managements für Ätz-, Abscheidungs- und Waferverarbeitungssysteme in der Halbleiterfertigung. Sie liefert hochpräzise Mehrkanal-Temperaturregelung, um eine strikte thermische Gleichmäßigkeit über Prozesskammern, elektrostatische Spannfutter (ESCs) und Wafer-Stufen aufrechtzuerhalten. Entwickelt für den 24/7-Betrieb in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen gewährleistet sie eine konstante Wafer-Temperatur, stabilisiert Prozessrezepte und maximiert die Produktionsausbeute. Originale Lam OEM-Platinen garantieren Plug-and-Play-Kompatibilität, präzise Kalibrierung und langfristige Zuverlässigkeit für Halbleiterfabriken mit fortschrittlichen Knoten (2nm/3nm).
Wichtige Spezifikationen:
- Originale Lam Research PCB-Baugruppe, vollständig kompatibel mit Kiyo-Ätzanlagen, ExAL-Plattformen sowie CVD/PVD-Systemen. Werkseitig kalibriert und getestet für nahtlose Integration.
- Unterstützt 16–24 Kanäle (Pt100 RTD/Thermoelement-Eingänge); erreicht ±0,1 °C Stabilität im Bereich von 25–150 °C durch Auto-Tuning-PID-Algorithmen.
- Geschlossener Regelkreis für Heizen/Kühlen (TEC-kompatibel); Echtzeit-Sensor-Feedback mit 500 Hz Abtastung; Kompensation von Umgebungdrift und Sensorverzögerung.
- Vakuumgeeignet (≤1×10⁻⁶ Torr), EMI-geschirmt, vibrationsresistent; arbeitet zuverlässig bei 0–55 °C mit Immunität gegen Plasma- und HF-Interferenzen.
- Modulares, hot-swappable Design für schnellen Austausch; integrierte Onboard-Diagnose für Temperatur, Sensorzustand und Fehlerprotokollierung; reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
Typische Anwendungen:
- Lam Research Plasma-Ätzsysteme (Kiyo, ExAL, 9000-Serie)
- CVD/PVD/ALD-Dünnschicht-Abscheidungsausrüstung
- 200-mm-/300-mm-Wafer-Prozesskammern und ESCs
- Fortschrittliche Logik-/Speicher-Fabs (2nm/3nm-Knoten)
- Halbleiter-Fab-Wartung, Ersatzteile und Upgrades
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inbegriffen.
F2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Was ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Bestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.