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Brandneue Lam Research 778-900046R343 Temperatursteuerungsplatine

Brandneue Lam Research 778-900046R343 Temperatursteuerungsplatine

Brandneue Lam Research 778-900046R343 Temperatursteuerungsplatine

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    778-900046R343

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

Das Lam Research Temperature Control Board ist eine zentrale thermische Managementkomponente für Halbleiter-Ätz-, Abscheidungs- und Waferverarbeitungssysteme. Es liefert hochpräzise, mehrkanalige Temperaturregelung, um eine strikte thermische Gleichmäßigkeit über Prozesskammern, elektrostatische Spannvorrichtungen (ESCs) und Wafer-Stage-Systeme aufrechtzuerhalten. Entwickelt für den 24/7-Betrieb in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasma-Umgebungen gewährleistet es eine konstante Wafer-Temperatur, stabilisiert Prozessrezepte und maximiert die Produktionsausbeute. Originale Lam OEM-Platinen garantieren Plug-and-Play-Kompatibilität, präzise Kalibrierung und langfristige Zuverlässigkeit für Halbleiterfabriken mit fortschrittlichen Nodes (2nm/3nm).
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Originale Lam Research PCB-Baugruppe, vollständig kompatibel mit Kiyo-Ätzanlagen, ExAL-Plattformen und CVD/PVD-Systemen. Werkskalibriert und getestet für nahtlose Integration.
  2. Unterstützt 16–24 Kanäle (Pt100 RTD/Thermoelement-Eingänge); erreicht ±0,1°C Stabilität über den Bereich von 25–150°C mittels selbstoptimierender PID-Algorithmen.
  3. Geschlossene Regelung für Heizen/Kühlen (TEC-kompatibel); Echtzeit-Sensor-Feedback mit 500 Hz Abtastrate; Kompensation von Umgebungsdrift und Sensorsignalverzögerung.
  4. Für Vakuum ausgelegt (≤1×10⁻⁶ Torr), EMV-geschirmt, vibrationsresistent; arbeitet zuverlässig bei 0–55°C mit Immunität gegenüber Plasma- und HF-Störungen.
  5. Modulares, im laufenden Betrieb austauschbares Design für schnellen Ersatz; Onboard-Diagnostik für Temperatur, Sensorzustand und Fehlerprotokollierung; reduziert ungeplante Ausfallzeiten.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Lam Research Plasma-Ätzsysteme (Kiyo, ExAL, 9000-Serie)
  2. CVD/PVD/ALD-Dünnschicht-Abscheideanlagen
  3. 200mm / 300mm Wafer-Prozesskammern & ESCs
  4. Fortschrittliche Logik-/Speicher-Fabs (2nm/3nm Nodes)
  5. Halbleiter-Fab-Wartung, Ersatzteile & Upgrades

 

 

FAQ:

Q1:Was ist der Produktzustand und wie sieht die Garantie aus?
A:Neue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2:Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A:T/T, Paypal unterstützt.

Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Standardmodelle auf Lager, Versand in 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4:Versand & Sendungsverfolgung
A:DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5:Verpackung & Sicherheit

 

A:Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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