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Brandneuer Lam Research 839-034672-001 Massendurchflussregler

Brandneuer Lam Research 839-034672-001 Massendurchflussregler

Brandneuer Lam Research 839-034672-001 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle weltweite Lieferung

  • Artikel-Nr.:

    839-034672-001

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research faseroptische Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert und verwenden ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemission sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig zur Ätz-Endpunktdetektion, zur Dünnschicht-Metrologie und zur Echtzeitüberwachung des Plasmazustands eingesetzt. Diese Geräte gewährleisten eine stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als originale OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für LAM Full-Series-Prozesswerkzeuge.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-sichtbaren Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faserinterfaces unterstützen die Übertragung über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Die Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Bewertung des Ätz-Endpunkts, der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Über- und Unterätzen.
  4. Eingebaute Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Struktur mit Anti-Vibrations- und Anti-Interferenz-Fähigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Vor-Ort-Austausch.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Dünnschichtdicken- und Reflexionsmessung
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, Originalprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Bestand vorhanden?
A: Standardmodelle sind auf Lager und werden innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung versendet. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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