Beschreibung:
LAM Research faseroptische Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert, sie nutzen ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmamission sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig für die Ätz-Endpunkterkennung, Dünnschicht-Metrologie und Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands eingesetzt, diese Geräte gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte bei Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuum-Fertigungsprozessen. Als originale OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für LAM-Prozesswerkzeuge der gesamten Serie.
Wichtige Spezifikationen:
- Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV- und sichtbaren Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
- Standard-SMA-Faseranschlüsse unterstützen die Signalübertragung über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
- Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts, die Messung der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
- Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
- Kompakte und robuste Struktur mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einen einfachen Austausch vor Ort.
Typische Anwendungen:
- Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
- Ätz-Endpunkterkennung für Wafer-Ätzprozesse
- In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflektivität
- Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuum-Prozesskammern
- LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen
FAQ:
Q1:Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware in Originalqualität. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2:Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.