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Brandneuer Lam Research 839-034671-001 Massendurchflussregler

Brandneuer Lam Research 839-034671-001 Massendurchflussregler

Brandneuer Lam Research 839-034671-001 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    839-034671-001
  • Bestellung (MOQ):

    1
  • Zahlung:

    100% T/T
  • Produktherkunft:

    USA
  • Farbe:

    As Model
  • Verschiffungshafen:

    Xiamen
  • Vorlaufzeit:

    2-3 days
  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research faseroptische Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert, sie nutzen ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmamission sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig für die Ätz-Endpunkterkennung, Dünnschicht-Metrologie und Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands eingesetzt, diese Geräte gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte bei Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuum-Fertigungsprozessen. Als originale OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für LAM-Prozesswerkzeuge der gesamten Serie.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV- und sichtbaren Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faseranschlüsse unterstützen die Signalübertragung über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts, die Messung der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Struktur mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einen einfachen Austausch vor Ort.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Ätz-Endpunkterkennung für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflektivität
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuum-Prozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1:Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware in Originalqualität. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2:Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

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