Beschreibung:
LAM Research Glasfaser-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen integriert sind. Primär gekoppelt mit professionellen optischen Modulen verwenden sie ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Weit verbreitet zur Endpunktdetektion beim Ätzen, Dünnschichtmetrologie und Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands gewährleisten diese Einheiten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren Ausschuss in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die vollständige LAM-Produktpalette der Prozesswerkzeuge.
Wichtige Spezifikationen:
- Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
- Standard-SMA-Glasfaseranschlüsse unterstützen die Langstrecken-Signalübertragung. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
- Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Bewertung des Ätzendpunkts sowie die Messung von Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und vermeidet effektiv Über- und Unterätzen.
- Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
- Kompakte und robuste Bauweise mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einen einfachen Vor-Ort-Austausch.
Typische Anwendungen:
- Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
- Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
- In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
- Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
- LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inbegriffen.
Q2: Welche Zahlungsbedingungen bieten Sie an?
A: T/T, PayPal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.