Beschreibung:
Die Faseroptik-Spektrometer von LAM Research sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert und verwenden ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Weit verbreitet für die Endpunktdetektion beim Ätzen, Dünnschicht-Metrologie und die Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands gewährleisten diese Geräte eine stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren Ausschuss in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die gesamte LAM-Prozesswerkzeugserie.
Wichtige Spezifikationen:
- Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-sichtbaren Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
- Standard-SMA-Faserinterfaces unterstützen die Signalübertragung über große Distanzen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
- Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Entscheidung des Ätz-Endpunkts, Messung der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
- Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
- Kompakte und robuste Struktur mit Anti-Vibrations- und Anti-Interferenz-Fähigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Vor-Ort-Austausch.
Typische Anwendungen:
- Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
- Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
- In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
- Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
- LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.