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Brandneuer Lam Research SM930MS102CK Massendurchflussregler

Brandneuer Lam Research SM930MS102CK Massendurchflussregler

Brandneuer Lam Research SM930MS102CK Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    SM930MS102CK
  • Bestellung (MOQ):

    1
  • Zahlung:

    100% T/T
  • Produktherkunft:

    USA
  • Farbe:

    As Model
  • Verschiffungshafen:

    Xiamen
  • Vorlaufzeit:

    2-3 days
  • Produktdetails

Beschreibung:

Die Faseroptik-Spektrometer von LAM Research sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert und verwenden ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb von Prozesskammern zu erfassen. Weit verbreitet für die Endpunktdetektion beim Ätzen, Dünnschicht-Metrologie und die Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands gewährleisten diese Geräte eine stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren Ausschuss in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die gesamte LAM-Prozesswerkzeugserie.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-sichtbaren Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faserinterfaces unterstützen die Signalübertragung über große Distanzen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Entscheidung des Ätz-Endpunkts, Messung der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Struktur mit Anti-Vibrations- und Anti-Interferenz-Fähigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Vor-Ort-Austausch.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.

Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

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