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Brandneu Lam Research SM930LP1NCS202 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research SM930LP1NCS202 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research SM930LP1NCS202 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    SM930LP1NCS202

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research Faseroptik-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen integriert sind. Sie werden primär mit professionellen optischen Modulen kombiniert und verwenden ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Weit verbreitet für die Erkennung des Ätz-Endpunkts, Dünnschichtmetrologie und die Echtzeitüberwachung des Plasmazustands gewährleisten diese Geräte stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsverfahren. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für LAM Full-Serien-Prozesstools.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faseranschlüsse unterstützen die Signalübertragung über große Distanzen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts sowie Messungen der Dünnschichtdicke und optischer Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Mit integrierten Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüssen, vollständig kompatibel mit den LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Bauweise mit Anti-Vibrations- und Entstörfähigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einen einfachen Vor-Ort-Austausch.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasmaätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuwertige Originalartikel. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für genaue Zeitangaben.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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