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Brandneu Lam Research P36W-L20 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research P36W-L20 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research P36W-L20 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle Lieferung weltweit

  • Artikel-Nr.:

    P36W-L20
  • Bestellung (MOQ):

    1
  • Zahlung:

    100% T/T
  • Produktherkunft:

    USA
  • Farbe:

    As Model
  • Verschiffungshafen:

    Xiamen
  • Vorlaufzeit:

    2-3 days
  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research Faseroptik-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. Sie werden in erster Linie mit professionellen optischen Modulen kombiniert und nutzen ein Faseroptik-Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig für die Ätz-Endpunktdetektion, die Dünnschichtmetrologie und die Echtzeitüberwachung des Plasmazustands eingesetzt. Diese Geräte gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als originale OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die LAM-Prozesswerkzeuge der gesamten Serie.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensiblen CCD-/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faseranschlüsse unterstützen die Signalübertragung über große Distanzen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Die Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts sowie Messungen der Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und hilft effektiv, Überätzen und Unterätzen zu vermeiden.
  4. Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit den LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Bauweise mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einen einfachen Vor-Ort-Austausch.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
  2. Ätz-Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware in Originalqualität. 1 Jahr Garantie inklusive.

F2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.

F3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle sind auf Lager und werden innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung versendet. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

F5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

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