Beschreibung:
LAM Research Faseroptik-Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Anlagen zur Halbleiter-Waferverarbeitung integriert sind. Sie werden in erster Linie mit professionellen optischen Modulen kombiniert und nutzen ein Faseroptik-Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Sie werden häufig für die Ätz-Endpunktdetektion, die Dünnschichtmetrologie und die Echtzeitüberwachung des Plasmazustands eingesetzt. Diese Geräte gewährleisten stabile Prozessleistung, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als originale OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für die LAM-Prozesswerkzeuge der gesamten Serie.
Wichtige Spezifikationen:
- Ausgestattet mit hochsensiblen CCD-/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
- Standard-SMA-Faseranschlüsse unterstützen die Signalübertragung über große Distanzen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
- Die Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts sowie Messungen der Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und hilft effektiv, Überätzen und Unterätzen zu vermeiden.
- Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit den LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
- Kompakte und robuste Bauweise mit Vibrations- und Störfestigkeit. Unterstützt den 24/7-Dauerbetrieb und einen einfachen Vor-Ort-Austausch.
Typische Anwendungen:
- Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschichtabscheidungsanlagen
- Ätz-Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
- In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflexion
- Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
- LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware in Originalqualität. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle sind auf Lager und werden innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung versendet. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.