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Brandneu Lam Research E36W-L14 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research E36W-L14 Massendurchflussregler

Brandneu Lam Research E36W-L14 Massendurchflussregler

Hohe Präzision, stabile Leistung

Geeignet für industrielle Automatisierung

Auf Lager & schnelle weltweite Lieferung

  • Artikel-Nr.:

    E36W-L14

  • Bestellung (MOQ):

    1

  • Zahlung:

    100% T/T

  • Produktherkunft:

    USA

  • Farbe:

    As Model

  • Verschiffungshafen:

    Xiamen

  • Vorlaufzeit：

    2-3 days
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  • Produktdetails

Beschreibung:

LAM Research faseroptische Spektrometer sind hochpräzise optische Überwachungsgeräte, die in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen integriert sind. Sie werden hauptsächlich mit professionellen optischen Modulen kombiniert, sie nutzen ein faseroptisches Übertragungsdesign, um Plasmaemissionen sowie Reflexions- und Transmissionsspektren innerhalb der Prozesskammern zu erfassen. Weit verbreitet für Ätz-Endpunktdetektion, Dünnschicht-Metrologie und Echtzeit-Überwachung des Plasmazustands, stellen diese Geräte eine stabile Prozessleistung sicher, verbessern die Produktionsausbeute und reduzieren fehlerhafte Produkte in Ätz-, CVD-, PVD- und anderen Vakuumfertigungsprozessen. Als original OEM-kompatible Komponenten bieten sie hervorragende Kompatibilität und langfristige Zuverlässigkeit für LAM Full-Series-Prozesswerkzeuge.
 
 
 
Wichtige Spezifikationen:
  1. Ausgestattet mit hochsensitiven CCD/PMT-Detektoren, die eine hervorragende spektrale Auflösung und geringes Rauschen liefern. Deckt den UV-Vis-Wellenlängenbereich ab, um vielfältige Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung zu erfüllen.
  2. Standard-SMA-Faserinterfaces unterstützen die Signalübertragung über große Entfernungen. Vakuumkompatible Sonden arbeiten stabil in Hochvakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaumgebungen.
  3. Echtzeit-Spektralanalyse ermöglicht eine präzise Beurteilung des Ätz-Endpunkts sowie Messungen der Dünnschichtdicke und optischen Eigenschaften und vermeidet effektiv Überätzen und Unterätzen.
  4. Integrierte Ethernet- und RS-232-Kommunikationsanschlüsse, vollständig kompatibel mit LAM-Geräteprotokollen für nahtlose Dateninteraktion und Systemvernetzung.
  5. Kompakte und robuste Bauweise mit Anti-Vibrations- und Anti-Interferenz-Fähigkeit. Unterstützt 24/7-Dauerbetrieb und einfachen Austausch vor Ort.
 

 

Typische Anwendungen:

  1. Plasma-Ätzsysteme, CVD-, PVD- und ALD-Dünnschicht-Abscheidungsanlagen
  2. Endpunktdetektion für Wafer-Ätzprozesse
  3. In-situ-Messung der Dünnschichtdicke und Reflektivität
  4. Echtzeit-Analyse des Plasmazustands in Vakuumprozesskammern
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL und andere gängige Prozessplattformen

 

 

FAQ:

Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalartikel. 1 Jahr Garantie inklusive.

Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.

Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.

Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.

Q5: Verpackung & Sicherheit

 

A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.

 

 

Verwandte Tags : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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