Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS Rechtwinkel-Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasströmung & Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkel-Layout spart Platz im Schaltschrank, eingebauter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder liefern eine ultrastabile lineare Druckregelung. Ventilgehäuse aus Edelstahl mit ausgasungsarmer Dichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- & vollständig überholte geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Strömungsdesign reduziert die horizontale Leitungsbelegung erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen, stabile und reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verstärkte Klappe verhindert Staubansammlungen, lange Lebensdauer unter ätzender & ablagernder Gasumgebung in Ätz- und Abscheideprozessen.
- Komplettes Ventilgehäuse aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt Hochvakuum-Reinraumstandards; Heizversion bis zu 200℃ unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; Unterstützung von 0-10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und Ferntechnikunterstützung.
Q1:What is the product situation and warranty like?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2:What is your payment terms?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4:Shipping & Tracking
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Sendungsverfolgung durch unser Team.
Q5:Packaging & Safety
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßfest.