Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS Rechtwinkel-Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasströmung & Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkeldesign spart Einbauraum im Schaltschrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine extrem stabile lineare Druckregelung. Ventilkörper aus Edelstahl mit ausgasungsarmer Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- & vollständig überholte geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign, reduziert die horizontale Rohrleitungsbelegung erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen, stabile und reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200ms; verstärkte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in korrosiven Gasumgebungen beim Ätzen und Abscheiden.
- Vollständiger Ventilkörper aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt die Anforderungen von Hochvakuum-Reinräumen; Heizversion bis zu 200℃ zur Vermeidung von Kondensation von Prozessgasen unterstützt.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; Unterstützung von 0-10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und technische Fernunterstützung.
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal werden unterstützt.
F3: Wie lange ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle müssen beim Hersteller bestellt werden – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgehende Überwachung des gesamten Prozesses durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.