Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS Rechtwinkel-Vakuum-Drossel-Butterfly-Ventil, ausgelegt für präzise Abgasströmung und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkel-Layout spart Platz im Schaltschrank, eingebauter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine ultra-stabile lineare Druckregelung. Edelstahl-Ventilkörper mit ausgasungsarmer Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig generalüberholte geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentation verfügbar.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Strömungsdesign reduziert den horizontalen Rohrleitungsbedarf erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen und stabile, reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verstärkte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in Ätz- und Abscheidungsumgebungen mit korrosiven Gasen.
- Komplettes Ventilgehäuse aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt Hochvakuum-Reinraumstandards; Heizversion bis zu 200℃ unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; Unterstützung von 0–10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet-Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und ferntechnische Unterstützung und Beratung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal werden unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für genaue Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionskomponenten). Feuchtigkeits- und stoßfest.