Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS Rechtwinkel-Vakuum-Drossel-Butterfly-Ventil, entwickelt für präzise Abgasströmung und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkellayout spart Einbauraum im Schaltschrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine ultra-stabile lineare Druckregelung. Ventilgehäuse aus Edelstahl mit niedrig ausgasender Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig generalüberholte geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständiger technischer Dokumentationssupport.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign reduziert den horizontalen Rohrleitungsbedarf erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, realisiert eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen, stabile und reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verstärkte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in korrosiven Gasumgebungen bei Ätz- und Abscheideprozessen.
- Ventilgehäuse vollständig aus Edelstahl, niedrig ausgasende Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt High-Vacuum-Cleanroom-Standards; Heizversion bis zu 200 °C unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; Unterstützung von 0–10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet-Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und technische Fernunterstützung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionskomponenten). Feuchtigkeits- und stoßfest.