Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS rechtwinkliges Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasströmung und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkel-Design spart Einbauraum im Schaltschrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen ultra-stabile lineare Druckregelung. Ventilgehäuse aus Edelstahl mit ausgasungsarmem Dichtungssystem, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig überholte, getestete Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Strömungsdesign reduziert die horizontale Rohrleitungsbelegung erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, realisiert eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen, stabile und wiederholbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verstärkte Klappe verhindert Staubablagerungen, lange Lebensdauer in ätzender Gasumgebung bei Ätz- und Abscheidungsprozessen.
- Komplettes Ventilgehäuse aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorkautschukdichtung, erfüllt Hochvakuum-Reinraumstandards; Heizversion bis zu 200 °C zur Vermeidung von Kondensation von Prozessgasen wird unterstützt.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; Unterstützung von 0–10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und technische Fernunterstützung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Original neue, echte Artikel. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal wird unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung—kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link wird nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.