Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS-Rechtwinkliges Vakuum-Drossel-Butterfly-Ventil, entwickelt für präzise Abgasströmungs- und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Das einzigartige 90°-Rechtwinkeldesign spart Einbauraum im Schaltschrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine äußerst stabile lineare Druckregelung. Edelstahl-Ventilgehäuse mit niedrig ausgasender Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig überholte, geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign reduziert deutlich den horizontalen Leitungsbedarf und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, realisiert lineare Durchflussregelung, minimale Drucküberschwinger, stabile und wiederholbare Prozessrezepte.
- Hochtorque-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verdickte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in Ätz- und Abscheidungsprozessen mit korrosiven Gasen.
- Vollständiges Edelstahlventilgehäuse, niedrig ausgasende Fluorkautschukdichtung, erfüllt Hochvakuum-Cleanroom-Standards; Heizversion bis zu 200℃ unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; unterstützt 0–10V Analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und technische Fernunterstützung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neu und original. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern Herstellerbestellung—kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgetriebe). Feuchtigkeits- und stoßfest.