Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS rechtwinkliges Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasströmung und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkeldesign spart Einbauraum im Schrank, ein integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und ein hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine äußerst stabile lineare Druckregelung. Ventilgehäuse aus Edelstahl mit ausgasungsarmer Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neu original & vollständig generalüberholte geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign reduziert deutlich den horizontalen Platzbedarf der Rohrleitungen und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen und stabile, reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verdickte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in korrosiven Gasumgebungen beim Ätzen und Abscheiden.
- Ventilgehäuse vollständig aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorelastomer-Dichtung, erfüllt Reinraumstandards für Hochvakuum; Heizversion bis zu 200 °C unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; unterstützt 0–10V analog, RS232, EtherCAT, DeviceNet Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und ferngesteuerte technische Unterstützung.
Q1: Was ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Was sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.