Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS rechtwinkliges Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasströmung und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkeldesign spart Einbauraum im Schaltschrank, integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine äußerst stabile lineare Druckregelung. Ventilkörper aus Edelstahl mit ausgasungsarmer Abdichtung, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- und vollständig generalüberholte, geprüfte Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Luftstromdesign reduziert den horizontalen Rohrleitungsbedarf erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussregelung, minimales Drucküberschwingen und stabile, reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verstärkte Klappe verhindert Staubansammlungen, lange Lebensdauer unter ätzenden Gasumgebungen bei Ätz- und Abscheidungsprozessen.
- Komplettes Ventilgehäuse aus Edelstahl, ausgasungsarme Fluorkautschuk-Dichtung, erfüllt hohe Vakuum-Reinraumstandards; Heizversion bis 200℃ unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; unterstützt 0–10V Analog-, RS232-, EtherCAT-, DeviceNet-Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und technische Fernunterstützung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Original neue, echte Artikel. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.