Beschreibung:
Original in den USA hergestelltes MKS rechtwinkliges Vakuum-Drosselklappenventil, entwickelt für präzise Abgasströmung und Kammerdruckregelung in Hochvakuumprozessen. Einzigartiges 90°-Rechtwinkeldesign spart Platz im Schaltschrank, ein integrierter Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor und ein hochauflösender Positionsencoder ermöglichen eine extrem stabile lineare Druckregelung. Ventilgehäuse aus Edelstahl mit ausgasungsarmen Dichtungen, kompatibel mit mehreren Flanschstandards, analoge/digitale Kommunikationsoptionen verfügbar. Neue Original- sowie vollständig überholte und getestete Einheiten auf Lager, weltweiter DAP-Versand und vollständige technische Dokumentationsunterstützung.
Wichtige Spezifikationen:
- Vertikales 90-Grad-Strömungsdesign reduziert den horizontalen Rohrleitungsbedarf erheblich und erleichtert die Installation in kompakten Halbleiter-Cluster-Tools und Vakuumschränken.
- Patentierter nichtlinearer Antriebsmechanismus optimiert die Klappenbewegung, ermöglicht eine lineare Durchflussanpassung, minimales Drucküberschwingen und stabile, reproduzierbare Prozessrezepte.
- Hochdrehmoment-Schrittmotor, vollständiges Öffnen/Schließen innerhalb von 200 ms; verstärkte Klappe verhindert Staubansammlung, lange Lebensdauer in ätzenden und abscheidenden korrosiven Gasumgebungen.
- Vollständiges Edelstahl-Ventilgehäuse, ausgasungsarme Fluorkautschukdichtung, erfüllt Hochvakuum-Reinraumstandards; Heizversion bis zu 200℃ unterstützt, um Kondensation von Prozessgasen zu vermeiden.
- Mehrere Flanschoptionen: ISO-KF, ISO-F, CF; unterstützt 0–10 V Analog-, RS232-, EtherCAT- und DeviceNet-Kommunikation. Vollständige Modelle auf Lager, bieten Schaltpläne, Bedienungsanleitungen und ferngesteuerte technische Unterstützung.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Original neue Ware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal werden unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach dem Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.