Beschreibung:
MKS Diaphragm Valves sind präzisionsgefertigte Absperr- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden und auf MKS’ jahrzehntelanger Präzisionstechnologie zur Fluidsteuerung für Halbleiter-, Vakuumbeschichtungs-, Biotech- und Feinchemieanwendungen basieren. Durch die zentrale Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig von Aktuator und internen beweglichen Komponenten und ermöglicht so eine externe Leckagefreiheit, einen ultra-reinen Strömungskanal sowie eine präzise Ein/Aus- und proportionale Durchflussregelung. Sie sind weitgehend kompatibel mit MKS Massendurchflussreglern, Drucksensoren und Prozessleitsystemen für komplette industrielle Fluidlösungen.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Strömungsweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt die Anforderungen an ultrahochreine Gase sowie hygienische Produktionsstandards, ideal für Reinräume und die Halbleiter-Wafer-Fertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgas, korrosiven chemischen Gasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Suspensionen; Einsatztemperatur von -10℃ bis zu 150℃ für Hochtemperatur-Prozessmodelle.
- In Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb und Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss und Druck; der einstellbare Durchflussbereich reicht von 0.1sccm~50000sccm mit herausragender Stabilität bei sehr niedrigen Durchflussraten, minimal regelbarer Durchfluss bis zu 0.1% des Skalenendwerts.
- Verfügbar in manueller, elektromagnetischer und pneumatischer Betätigung (normally open/normally closed); Endanschlüsse umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde, ISO-Standardflansch zur Anpassung an globale gängige Rohrleitungsspezifikationen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Anlagenstillstandszeiten, hohe Zyklenfestigkeit für häufige Schaltbedingungen.
- Strenge Dichtheitsprüfung vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- & stoßfest.