Beschreibung:
MKS-Membranventile sind präzisionsgefertigte Isolations- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden und auf MKS’ jahrzehntelanger Präzisions-Flüssigkeitsregelungstechnologie für Halbleiter-, Vakuumbeschichtungs-, Biotechnologie- und Feinchemieanwendungen basieren. Durch die Verwendung einer zentralen Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig vom Antrieb und den internen beweglichen Komponenten, wodurch externe Leckagen vermieden, ein extrem sauberer Strömungskanal erreicht sowie eine präzise Ein/Aus- und proportionale Durchflussregelung ermöglicht wird. Sie sind weitgehend kompatibel mit MKS-Massendurchflussreglern, Drucksensoren und Prozessleitsystemen für komplette industrielle Fluidlösungen.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Strömungsweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt die Anforderungen an extrem hochreine Gase sowie hygienische Produktionsstandards, ideal für Reinräume und die Halbleiter-Wafer-Fertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgasen, korrosiven chemischen Gasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Schlämmen; geeignet für Betriebstemperaturen von -10℃ bis zu 150℃ für Hochtemperatur-Prozessmodelle.
- In Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb und Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss und Druck; der einstellbare Durchflussbereich reicht von 0,1 sccm bis 50.000 sccm mit hervorragender Stabilität im Niedrigdurchflussbereich, der minimal regelbare Durchfluss liegt bei 0,1 % des Endwerts.
- Erhältlich in manueller, elektromagnetischer und pneumatischer Betätigung (normalerweise offen/normalerweise geschlossen); Anschlussarten umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde und ISO-Standardflansch zur Anpassung an globale Rohrleitungsspezifikationen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Anlagenstillstandzeiten, hohe Zyklenfestigkeit für häufige Schaltbedingungen.
- Strenge Dichtheitsprüfung vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, originale Produkte. 1 Jahr Garantie inklusive.
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A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller—bitte wenden Sie sich für Zeitpläne an den Kundenservice.
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A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsbauteile). Feuchtigkeits- und stoßfest.