Beschreibung:
MKS Diaphragm Valves sind präzisionsgefertigte Absperr- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden und auf der jahrzehntelangen Präzisions-Fuidregeltechnologie von MKS für Halbleiter-, Vakuumbeschichtungs-, Biotech- und Feinchemieanwendungen basieren. Durch die Verwendung einer zentralen Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig von Antrieb und internen beweglichen Komponenten, wodurch eine externe Leckage von null, ein ultrasauberer Durchflusskanal sowie eine präzise Ein/Aus- und proportionale Durchflussregelung erreicht werden. Sie werden häufig mit MKS Massendurchflussreglern, Druckmessumformern und Prozessleitsystemen für komplette industrielle Fluidlösungen kombiniert.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Strömungsweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt die Anforderungen an ultrahochreine Gase sowie hygienische Produktionsstandards, ideal für Reinraum- und Halbleiter-Wafer-Fertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgas, korrosiven Prozessgasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Suspensionen; Einsatztemperatur von -10℃ bis 150℃ für Hochtemperatur-Prozessmodelle.
- In Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb & Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss/Druck; der einstellbare Durchflussbereich umfasst 0.1sccm~50000sccm mit hervorragender Stabilität bei niedrigen Durchflussraten, minimale regelbare Durchflussmenge bis zu 0.1% des Endwerts.
- Verfügbar in manueller, magnetventil-elektrischer und pneumatischer Betätigung (normal offen/normal geschlossen); Endanschlüsse umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde, ISO-Standardflansch zur Anpassung an globale gängige Rohrleitungsspezifikationen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Anlagenstillstandzeiten, hohe Ermüdungsfestigkeit bei häufigen Schaltzyklen.
- Strenge Dichtheitsprüfung vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsabsperrung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, Originalprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.