Beschreibung:
MKS Membranventile sind präzisionsgefertigte Isolations- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden und auf MKS’s jahrzehntelanger Präzisions-Flüssigkeitsregeltechnologie für Halbleiter-, Vakuumbeschichtung-, Biotech- und Feinchemie-Bereiche basieren. Durch die zentrale Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig vom Antrieb und den internen beweglichen Komponenten, wodurch eine Null-Außenleckage, ein ultrareiner Strömungskanal sowie eine präzise Ein/Aus- und proportionale Durchflussregelung erreicht werden. Sie sind weit kompatibel mit MKS Massendurchflussreglern, Drucktransducern und Prozessleitsystemen für vollständige industrielle Fluidlösungen.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Strömungsweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt höchste Reinheits- und Hygienestandards für Gase, ideal für Reinraum- und Halbleiter-Waferfertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgasen, korrosiven chemischen Gasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Suspensionen; Arbeitstemperaturbereich von -10℃ bis zu 150℃ für Hochtemperatur-Prozessmodelle.
- Bei Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb und Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss/Druck; der einstellbare Durchflussbereich umfasst 0.1sccm~50000sccm mit hervorragender Stabilität bei niedrigen Durchflussraten, minimal regelbarer Durchfluss bis zu 0.1% des Skalenendwerts.
- Verfügbar in manueller, magnetventil-elektrischer und pneumatischer Betätigung (normally open/normally closed); Anschlussarten umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde, ISO-Standardflansch zur Anpassung an weltweit gängige Rohrleitungsspezifikationen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Anlagenstillstandzeiten, hohe Ermüdungsfestigkeit für häufige Schaltzyklen.
- Strenge Leckprüfung vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware im Originalzustand. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Wie lange ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link wird nach Versand bereitgestellt. Durchgehende Überwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsausrüstung). Feuchtigkeits- & stoßfest.