Beschreibung:
MKS Diaphragm Valves sind präzisionsgefertigte Absperr- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozesse entwickelt wurden und auf MKS’ jahrzehntelanger Präzisions-Fluídkontrolltechnologie für die Halbleiter-, Vakuumbeschichtungs-, Biotech- und Feinchemiebranche basieren. Durch die zentrale Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig von Antrieb und internen beweglichen Komponenten, wodurch externe Leckagen verhindert, ein ultrareiner Durchflusskanal gewährleistet sowie eine präzise Ein/Aus- und proportionale Durchflussregelung ermöglicht wird. Sie werden häufig mit MKS Massendurchflussreglern, Drucksensoren und Prozesskontrollsystemen zu vollständigen industriellen Fluidlösungen kombiniert.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Durchflusskanal verhindert Partikelansammlungen und erfüllt höchste Anforderungen an Gasreinheit und hygienische Produktionsstandards, ideal für Reinraum- und Halbleiter-Waferfertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgasen, korrosiven Prozessgasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Suspensionen; geeignet für Arbeitstemperaturen von -10℃ bis zu 150℃ bei Hochtemperatur-Prozessmodellen.
- In Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb und Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss/Druck; der einstellbare Durchflussbereich umfasst 0,1 sccm~50000 sccm mit hervorragender Stabilität bei niedrigen Durchflussraten, wobei der minimal regelbare Durchfluss bis auf 0,1 % des Skalenendwerts reicht.
- Verfügbar in manueller, magnetventilgesteuerter (solenoid) und pneumatischer Betätigung (normal offen/normal geschlossen); Anschlussarten umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde und ISO-Standardflansche, passend zu den weltweit gängigen Rohrleitungsspezifikationen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Anlagenstillstandszeiten, hohe Ermüdungsbeständigkeit für häufige Schaltzyklen.
- Strenge Lecktests vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware, Originalprodukte. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Ist ausreichender Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.