Beschreibung:
MKS-Diaphragmventile sind präzisionsgefertigte Isolations- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden. Sie stammen aus den jahrzehntelangen Technologien von MKS im Bereich der präzisen Fluidsteuerung für Halbleiter-, Vakuumbeschichtung-, Biotech- und Feinchemieanwendungen. Durch die Verwendung einer zentralen Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig von Aktuator und internen beweglichen Komponenten, wodurch eine externe Leckagefreiheit, ein ultrasauberer Durchflusskanal sowie eine präzise Ein-/Aus- und proportionale Durchflussregelung erreicht werden. Sie werden häufig mit MKS-Massendurchflussreglern, Drucktransmittern und Prozessleitsystemen für vollständige industrielle Fluidlösungen kombiniert.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Durchflussweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt höchste Reinheits- sowie hygienische Produktionsstandards, ideal für Reinraum- und Halbleiter-Waferfertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgasen, korrosiven chemischen Gasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Suspensionen; geeignet für Arbeitstemperaturen von -10℃ bis 150℃ für Hochtemperaturprozessmodelle.
- In Kombination mit originalen MKS-Steuerantrieben und Durchflusssensoren ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss und Druck; der einstellbare Durchflussbereich umfasst 0.1sccm~50000sccm mit hervorragender Stabilität bei niedrigen Durchflussraten, minimal regelbarer Durchfluss bis zu 0.1% des Vollbereichs.
- Verfügbar in manueller, magnetischer elektrischer und pneumatischer Betätigung (normalerweise offen/normalerweise geschlossen); Anschlussarten umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde und ISO-Standardflansche zur Anpassung an globale Standardrohrleitungen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Anlagenstillstandszeiten, mit hoher Ermüdungsbeständigkeit für häufige Schaltzyklen.
- Strenge Dichtheitsprüfung vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – bitte den Kundenservice für Zeitpläne kontaktieren.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.