Beschreibung:
MKS Diaphragm Valves sind präzisionsgefertigte Isolations- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden und auf der jahrzehntelangen Präzisions-Flüssigkeitsregeltechnologie von MKS in den Bereichen Halbleiter, Vakuumbeschichtung, Biotechnologie und Feinchemie basieren. Durch die zentrale Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig von Antrieb und internen beweglichen Komponenten, wodurch externe Leckage verhindert, ein ultrasauberer Durchflusskanal erreicht und eine präzise Ein/Aus- sowie proportionale Durchflussregelung ermöglicht wird. Sie werden häufig mit MKS Massendurchflussreglern, Drucksensoren und Prozessleitsystemen für vollständige industrielle Fluidlösungen kombiniert.
Wichtige Spezifikationen:
- Das Membran-Isolationsdesign eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Strömungsweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt höchste Reinheits- und Hygieneanforderungen, ideal für Reinraum- und Halbleiter-Waferfertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgasen, korrosiven Chemiegasen, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Schlämmen; geeignet für Arbeitstemperaturen von -10℃ bis zu 150℃ für Hochtemperatur-Prozessmodelle.
- In Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb und Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss/Druck; der einstellbare Durchflussbereich reicht von 0.1sccm~50000sccm mit hervorragender Stabilität bei niedrigen Durchflussraten, minimale regelbare Durchflussmenge bis zu 0.1% des Full Scale.
- Verfügbar in manueller, elektromagnetischer (Solenoid) und pneumatischer Betätigung (normally open/normally closed); Endanschlüsse umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde, ISO-Standardflansch, um globale gängige Rohrleitungsspezifikationen zu erfüllen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Ausfallzeiten, hohe Zyklenfestigkeit für häufige Schaltbedingungen.
- Strenge Dichtheitsprüfung vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch-/Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
Q1: What is the product situation and warranty like?
A: Brandneue Originalware. 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: What is your payment terms?
A: T/T, Paypal supported.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.